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刘晓琴

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：文化科学自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学

主题

  • 3篇阵列
  • 2篇线宽
  • 2篇刻蚀
  • 2篇硅片
  • 2篇干法刻蚀
  • 2篇硅
  • 1篇电子设备
  • 1篇调制
  • 1篇输入电压
  • 1篇太赫兹
  • 1篇太赫兹波
  • 1篇图像
  • 1篇图像传感器
  • 1篇微机电系统
  • 1篇相位调制
  • 1篇介质层
  • 1篇控制电压
  • 1篇机电系统
  • 1篇二维阵列
  • 1篇发送

机构

  • 4篇清华大学

作者

  • 4篇尤政
  • 4篇刘晓琴
  • 3篇阮勇
  • 2篇尤睿
  • 2篇赵晓光
  • 1篇邢飞
  • 1篇张凌云
  • 1篇吴宇

年份

  • 2篇2023
  • 1篇2019
  • 1篇2018
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
硅针阵列的制备方法
本发明提供的一种硅针阵列的制备方法，在硅片的所有表面沉积生长保护膜。保护膜在刻蚀面形成硅片保护层。在进行刻蚀以及腐蚀硅的处理过程中，通过保护膜可以对硅片进行保护。通过第一掩膜为遮挡，在硅片上选定的区域中对硅片保护层进行干...
阮勇尤政刘晓琴郑烁
文献传递
硅针阵列的制备方法
本发明提供的一种硅针阵列的制备方法，在硅片的所有表面沉积生长保护膜。保护膜在刻蚀面形成硅片保护层。在进行刻蚀以及腐蚀硅的处理过程中，通过保护膜可以对硅片进行保护。通过第一掩膜为遮挡，在硅片上选定的区域中对硅片保护层进行干...
阮勇尤政刘晓琴郑烁
成像装置、电子设备及成像方法
本申请涉及一成像装置、电子设备及成像方法。所述成像装置包括控制电路、与控制电路连接的微机电系统MEMS执行器、与MEMS执行器连接的图像传感器；通过控制电路接收目标设备发送的成像需求信息，并根据成像需求信息向MEMS执行...
尤政邢飞赵晓光尤睿刘晓琴谢荣博
太赫兹波的调制装置和系统
本申请涉及一种太赫兹波的调制装置和系统，包括多个谐振单元，多个谐振单元以二维阵列的形式排布；每个谐振单元包括调制单元和介质层，调制单元固定在介质层的第一表面；调制单元用于在被加载预设电压的情况下产生形变，以对入射的太赫兹...
尤政赵晓光谢荣博尤睿阮勇张凌云吴宇刘晓琴
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