天线反射面的面形精度直接影响天线效率,是望远镜的关键指标之一.近场射电全息具有测量精度高,便捷高效的优点,是毫米波和亚毫米波射电望远镜面形检测最为常用的方法之一,卡焦近场全息可以完整测量望远镜光路中整体的面形误差.斜轴式机架结构能够更好地适应太赫兹望远镜在极端台址环境下的整体保温和热控需求,但斜轴天线特殊的转动特性会在近场全息测量过程中引入额外的系统误差.针对斜轴式天线的卡焦近场全息测量,分析了数据处理中需要额外考虑的参考路接收机位置和副面衍射的影响,并在1.2 m口径斜轴式太赫兹天线上开展了测量实验.实验结果表明,卡焦近场全息测量的重复测量精度优于2.0μm RMS(Root Mean Square),面形误差分布与摄影测量所得结果一致,验证了误差分析与修正的正确性.