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冯涛

作品数：1 被引量：14H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇研磨剂
  • 1篇砂浆
  • 1篇中砂
  • 1篇硅单晶

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇李保军
  • 1篇冯涛

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
硅单晶锭多线切割中砂浆作用的研究被引量：14
2007年
目前,在较长的硅单晶锭切割领域,多线切割机已基本取代内圆切片机。切割砂浆在切割中有着极其重要的作用,不同的使用条件会直接影响切割晶片的几何参数。讨论了砂浆的使用条件与切割质量之间的关系,通过试验及对高速摄像机拍摄照片的分析,得出不同砂浆携带方式直接影响到切割出晶片几何参数的结论,并且对多线切割的切割机理作了相应的讨论。
李保军冯涛
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