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李宁
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室
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发文基金:
北京市自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
机械工程
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合作作者
谭晓兰
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
林晶
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
孟永钢
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
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机械工程
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北方工业大学
作者
2篇
孟永钢
2篇
林晶
2篇
谭晓兰
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李宁
传媒
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机械设计
1篇
微细加工技术
年份
1篇
2010
1篇
2007
共
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计算机硬盘磁头滑块的设计与加工研究
2010年
研究计算机硬盘磁头滑块承载面结构的设计理论与加工方法。分析了现有磁头滑块的结构特点及其设计理论和设计方法;利用光刻及干法刻蚀的工艺及设备,进行了所设计磁头滑块的微加工;并利用三维表面形貌测量仪对所加工的磁头进行了加工质量分析,给出实验测量值与设计值的比较结果。
谭晓兰
孟永钢
林晶
李宁
关键词:
磁头滑块
干法刻蚀
三维形貌
磁头滑块的湿法与干法刻蚀实验研究
被引量:2
2007年
主要研究了计算机硬盘磁头滑块的微加工实验方法。首先以一种典型的磁头滑块结构为例,进行了掩模版的设计与制作;然后利用光刻、湿法刻蚀和干法刻蚀的工艺及设备,分别进行了该磁头滑块结构的湿法和干法刻蚀试验,给出了刻蚀参数及所加工的磁头照片;最后利用三维表面形貌仪,分别对湿法刻蚀和干法刻蚀的磁头结构进行了数据分析。结果表明,所提出的磁头滑块的微加工工艺及其刻蚀参数是合理的,且具有普遍性。
谭晓兰
孟永钢
李宁
林晶
关键词:
磁头滑块
湿法刻蚀
干法刻蚀
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