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李宁

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室更多>>
发文基金：北京市自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇机械工程

主题

  • 2篇刻蚀
  • 2篇滑块
  • 2篇干法刻蚀
  • 2篇磁头
  • 2篇磁头滑块
  • 1篇硬盘
  • 1篇三维形貌
  • 1篇湿法
  • 1篇湿法刻蚀
  • 1篇计算机
  • 1篇计算机硬盘

机构

  • 2篇清华大学
  • 1篇北方工业大学

作者

  • 2篇孟永钢
  • 2篇林晶
  • 2篇谭晓兰
  • 2篇李宁

传媒

  • 1篇机械设计
  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2007
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
计算机硬盘磁头滑块的设计与加工研究
2010年
研究计算机硬盘磁头滑块承载面结构的设计理论与加工方法。分析了现有磁头滑块的结构特点及其设计理论和设计方法;利用光刻及干法刻蚀的工艺及设备,进行了所设计磁头滑块的微加工;并利用三维表面形貌测量仪对所加工的磁头进行了加工质量分析,给出实验测量值与设计值的比较结果。
谭晓兰孟永钢林晶李宁
关键词：磁头滑块干法刻蚀三维形貌
磁头滑块的湿法与干法刻蚀实验研究被引量：2
2007年
主要研究了计算机硬盘磁头滑块的微加工实验方法。首先以一种典型的磁头滑块结构为例,进行了掩模版的设计与制作;然后利用光刻、湿法刻蚀和干法刻蚀的工艺及设备,分别进行了该磁头滑块结构的湿法和干法刻蚀试验,给出了刻蚀参数及所加工的磁头照片;最后利用三维表面形貌仪,分别对湿法刻蚀和干法刻蚀的磁头结构进行了数据分析。结果表明,所提出的磁头滑块的微加工工艺及其刻蚀参数是合理的,且具有普遍性。
谭晓兰孟永钢李宁林晶
关键词：磁头滑块湿法刻蚀干法刻蚀
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共1页<1>
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