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张勇

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：贵州大学理学院电子科学系更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇椭偏仪
  • 2篇溅射
  • 2篇溅射制备
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 2篇磁控溅射制备
  • 1篇反应溅射
  • 1篇FESI

机构

  • 2篇贵州大学

作者

  • 2篇余平
  • 2篇张晋敏
  • 2篇张勇
  • 1篇肖清泉

传媒

  • 1篇长春师范学院...
  • 1篇中国真空学会...

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
磁控溅射制备FeSi膜的性质
2007年
本文利用JGP-560CⅧ型带空气锁的超高真空多功能溅射系统在Si(100)和玻璃基底上沉积了介质薄膜、半导体薄膜、金属薄膜和磁性薄膜,通过实验研究得到各种薄膜较好的镀膜条件;并采用可变入射角椭圆偏振光谱仪对其中一些薄膜的光学性质进行了分析,研究了制备条件对薄膜在可见光范围内光学性质的影响;还研究了直流溅射、射频溅射、反应溅射的特点和它们的适用范围。
余平张勇肖清泉张晋敏
关键词：磁控溅射椭偏仪反应溅射
磁控溅射制备薄膜材料
本文利用JGP-560CⅧ型带空气锁的超高真空多功能溅射系统在Si(100)和玻璃基底上沉积了介质薄膜、半导体薄膜、金属薄膜和磁性薄膜,通过实验研究得到各种薄膜较好的镀膜条件;并采用可变入射角椭圆偏振光谱仪对其中一些薄膜...
余平张勇张晋敏
关键词：磁控溅射椭偏仪
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