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杨拥军

作品数：170 被引量：228H指数：9
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徐永青
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：硅 微机械 可变光衰减器 微电子机械 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐淑静
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 加速度 微电子机械系统 传感器 加速度传感器
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任臣
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：微电子机械系统 MEMS MEMS陀螺 MEMS陀螺仪 专用集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何洪涛
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 硅 芯片 微电子机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吕树海
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：加速度 传感器 微机械传感器 角速率 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐爱东
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：加速度 传感器 硅 角速率 速率传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李博
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：微电子机械系统 MEMS陀螺仪 角速度 MEMS MEMS器件
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罗蓉
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：硅 MEMS 深刻蚀 玻璃衬底 SOI材料
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杨志
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：谐振器 硅基 MEMS 衬底 腔体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢新艳
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS陀螺仪 测试系统 惯性器件 陀螺仪 微电子机械系统
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