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杨拥军

作品数：154 被引量：204H指数：8
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
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徐永青
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：硅 微机械 MEMS 可变光衰减器 微电子机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐淑静
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 加速度 微电子机械系统 传感器 加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任臣
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：微电子机械系统 MEMS MEMS陀螺 MEMS陀螺仪 专用集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吕树海
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：加速度 传感器 微机械传感器 角速率 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何洪涛
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 硅 芯片 微电子机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐爱东
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：加速度 传感器 硅 角速率 速率传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李博
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 MEMS器件 角速度 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗蓉
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 硅 深刻蚀 玻璃衬底 SOI材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨志
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：硅基 谐振器 衬底 MEMS 腔体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李海军
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：可变光衰减器 微机械 MEMS 波分复用 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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