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邹春莉
作品数:
15
被引量:19
H指数:3
供职机构:
清华大学研究院
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
深圳市水务发展中长期战略研究项目
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相关领域:
电子电信
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机械工程
自动化与计算机技术
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合作作者
潘国顺
清华大学研究院
顾忠华
清华大学研究院
徐莉
清华大学研究院
罗桂海
清华大学研究院
梁晓璐
清华大学研究院
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潘国顺
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
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顾忠华
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 硅晶片 二氧化硅溶胶 磨粒
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徐莉
供职机构:清华大学研究院
研究主题:非贵金属 化学机械抛光 4H-SIC 晶片 非铂催化剂
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梁晓璐
供职机构:清华大学研究院
研究主题:膜电极 膜电极组件 转印 质子交换膜燃料电池 催化层
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罗桂海
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 抛光液 硅晶片 化学机械抛光 划痕
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陈高攀
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光液 抛光 离子交换法 机械抛光 化学机械抛光
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龚桦
供职机构:清华大学研究院
研究主题:化学机械抛光 抛光 硅晶片 抛光液 二氧化硅溶胶
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汤皎宁
供职机构:深圳大学
研究主题:微胶囊 电沉积 复合镀层 非水体系 壁材
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史晓磊
供职机构:清华大学研究院
研究主题:LED 化学机械抛光 蓝宝石 原子
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罗海梅
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光液 抛光 衬底材料 超光滑表面 氧化性
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