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司朝伟
作品数:
35
被引量:42
H指数:3
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
机械工程
自动化与计算机技术
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合作作者
韩国威
中国科学院半导体研究所
宁瑾
中国科学院大学电子电气与通信工...
杨富华
中国科学院半导体研究所
赵永梅
中国科学院半导体研究所
王晓东
中国科学院半导体研究所
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韩国威
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:锚点 电极 MEMS 压电层 掩膜
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所获资助
研究领域
宁瑾
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:电极 牺牲层 锚点 MEMS 4H-SIC
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杨富华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 电极 谐振器 纳米尺寸
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赵永梅
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 3C-SIC 衬底 刻蚀 碳化硅材料
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王晓东
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 纳米尺寸 微装配 刻蚀
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童鑫
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:磁强计 传感器误差 控制功能 无线 切换键
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张萌
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:电极 寄生电容 压电层 盖板 检测电极
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刘晓东
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:脉冲发生器 相位噪声 变增益 I/Q 复数滤波器
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钟卫威
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:亚微米 RFMEMS RF_MEMS 滤波器 碳化硅
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所获资助
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苏言
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:磁强计 传感器误差 控制功能 无线 切换键
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