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张立超

作品数：59 被引量：138H指数：6
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时光
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学镀膜 镀膜 离子束溅射 元件 光学薄膜
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才玺坤
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学镀膜 镀膜 离子束溅射 膜厚均匀性 元件
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梅林
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学镀膜 镀膜 离子束溅射 深紫外 元件
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杨怀江
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学元件 镜框 面形 投影物镜 光学检测
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隋永新
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学元件 镜框 面形 光学检测 光学加工
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贺健康
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学镀膜 镀膜 夹具 光学薄膜 膜厚均匀性
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金春水
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
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赵灵
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：夹具 螺钉 测试夹具 光学镀膜 光学材料
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谷勇强
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：面形 光学加工 光学非球面 光学镀膜 精磨
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杨雄
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：多层膜 掩模 极紫外投影光刻 参数测量 衍射仪
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