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滕琴

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海硅酸盐研究所更多>>
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许学敏
供职机构：中国科学院上海硅酸盐研究所
研究主题：X射线双晶衍射 SOM 非晶硅 激光再结晶 激光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王渭源
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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