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周荣春
作品数:
4
被引量:29
H指数:3
供职机构:
北京大学
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发文基金:
教育部科学技术研究重点项目
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
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合作作者
张海霞
北京大学微电子学研究院
郝一龙
北京大学微电子学研究院
郭辉
北京大学微电子学研究院
肖志勇
北京大学微电子学研究院
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张海霞
供职机构:北京大学
研究主题:发电机 电极 MEMS 反应离子刻蚀 摩擦式
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郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 微电子机械系统 硅 加速度计
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肖志勇
供职机构:北京大学微电子学研究院
研究主题:MEMS 微电子机械系统 CAD 点化 系统设计
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郭辉
供职机构:北京大学信息科学技术学院
研究主题:MEMS SIC 谐振器 碳化硅 操作系统
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