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路新春

作品数：350 被引量：355H指数：11
供职机构：清华大学更多>>
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合作作者

领域

  • 93个机械工程
  • 87个金属学及工艺
  • 83个理学
  • 80个电子电信
  • 80个一般工业技术
  • 79个自动化与计算...
  • 70个化学工程
  • 53个文化科学
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  • 45个电气工程
  • 38个医药卫生
  • 33个动力工程及工...
  • 32个轻工技术与工...
  • 31个经济管理
  • 31个建筑科学
  • 29个航空宇航科学...
  • 26个环境科学与工...
  • 22个石油与天然气...
  • 19个生物学
  • 19个冶金工程

主题

  • 68个润滑
  • 64个机械抛光
  • 63个化学机械抛光
  • 62个纳米
  • 61个摩擦学
  • 58个抛光
  • 53个金属
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  • 49个合金
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  • 48个感器
  • 48个传感器
  • 47个计算机
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  • 39个激光
  • 38个离子
  • 36个轴承
  • 35个涂层
  • 34个有限元
  • 32个电极

机构

  • 106个清华大学
  • 15个中国科学院
  • 9个吉林大学
  • 7个吉林工业大学
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  • 6个北京科技大学
  • 6个中国科学院金...
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  • 5个中国矿业大学
  • 5个清华大学研究...
  • 4个北京大学
  • 4个北京理工大学
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  • 3个北京工商大学
  • 3个大连理工大学
  • 3个复旦大学
  • 3个江苏大学
  • 3个北京航空航天...
  • 3个西安理工大学

资助

  • 100个国家自然科学...
  • 62个国家重点基础...
  • 51个国家重点实验...
  • 50个中国博士后科...
  • 35个国家教育部博...
  • 29个国家高技术研...
  • 26个国家科技重大...
  • 25个国家杰出青年...
  • 19个中央高校基本...
  • 18个北京市自然科...
  • 16个创新研究群体...
  • 16个教育部“新世...
  • 15个国家科技支撑...
  • 13个博士科研启动...
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  • 10个北京市科技计...
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  • 7个国家科技攻关...
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传媒

  • 54个摩擦学学报（...
  • 47个机械工程学报
  • 46个润滑与密封
  • 42个清华大学学报...
  • 41个科学通报
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  • 20个机械工程材料
  • 18个第七届全国摩...
  • 17个仪器仪表学报
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  • 12个功能材料
  • 12个中国科学基金
  • 11个中国基础科学

地区

  • 102个北京市
  • 6个吉林省
  • 6个辽宁省
  • 3个陕西省
  • 3个上海市
  • 2个四川省
  • 2个天津市
  • 2个重庆市
  • 2个广东省
  • 1个山东省
共 129 条 记 录，以下是 1-10
雒建斌
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
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何永勇
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
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王同庆
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 CMP 抛光液 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵德文
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈攀
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 修整器 化学机械抛光 机械手 修整
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵乾
供职机构：清华大学
研究主题：电极 隐身 晶圆 图像增强 涡流传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
潘国顺
供职机构：清华大学
研究主题：抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
温诗铸
供职机构：清华大学
研究主题：润滑 薄膜润滑 润滑剂 弹流润滑 摩擦学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孟永钢
供职机构：清华大学
研究主题：电流变液 隐身 气体润滑 金属 脱附
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
门延武
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 压力源 晶圆 半导体制造技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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