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刘蕾
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24
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H指数:4
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中国科学院
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合作作者
黄惠杰
中国科学院研究生院
曾爱军
中国科学院上海光学精密机械研究...
朱玲琳
中国科学院上海光学精密机械研究...
黄立华
中国科学院研究生院
周蕾
军事医学科学院微生物流行病研究...
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
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曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
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朱玲琳
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:起偏器 波片 计算机组成 方位角 测量方法
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周蕾
供职机构:军事医学科学院微生物流行病研究所
研究主题:免疫层析 转发 上转换发光 生物传感器 试纸条
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黄立华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:免疫层析 上转换发光 光刻机 试纸条 金标
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杨宝喜
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
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肖艳芬
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 离轴照明 微透镜阵列 分子激光器
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朱菁
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
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张方
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光学系统
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陈明
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 照明系统 测量方法
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