2024年8月30日
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田晓丽
作品数:
89
被引量:19
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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理学
自动化与计算机技术
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合作作者
白云
中国科学院微电子研究所
刘新宇
中国科学院微电子研究所
杨成樾
中国科学院微电子研究所
汤益丹
中国科学院微电子研究所
陈宏
中国科学院微电子研究所
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刘新宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化镓 刻蚀 欧姆接触 ALGAN/GAN 衬底
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白云
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 SIC 衬底 微波等离子体 肖特基二极管
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杨成樾
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 衬底 微波等离子体 肖特基二极管 肖特基接触
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汤益丹
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 衬底 微波等离子体 含氧气体 肖特基接触
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陈宏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 SIC 衬底 沟槽 源极
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陆江
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:功率器件 绝缘栅双极晶体管 栅氧化层 集成电路 静电保护
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朱阳军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:IGBT IGBT器件 集电极 绝缘栅双极晶体管 导电类型
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卢烁今
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:绝缘栅双极晶体管 IGBT器件 闩锁 漂移 导电类型
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吴振兴
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:击穿电压 绝缘栅双极晶体管 闩锁 衬底 场限环
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研究领域
王盛凯
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微波等离子体 衬底 含氧气体 沟道 键合
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