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薛实福

作品数：56 被引量：96H指数：5
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划“八五”国家科技攻关计划更多>>
相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

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领域

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主题

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  • 17个传感器
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机构

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资助

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  • 2个中国人民解放...
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  • 1个德国大众基金
  • 1个国防科技技术...
  • 1个国家科技支撑...

传媒

  • 18个仪器仪表学报
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地区

  • 22个北京市
  • 2个辽宁省
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  • 1个广东省
共 26 条 记 录，以下是 1-10
李庆祥
供职机构：清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
研究主题：集成电路 柔性铰链 微装配 母盘 近场光存储
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐毓娴
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：显微镜 相移干涉术 力传感器 原子力显微镜 图像处理
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于水
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：力传感器 原子力显微镜 显微镜 自动调焦 柔性铰链
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王伯雄
供职机构：清华大学
研究主题：飞行时间 光切法 测量方法 线宽 测量系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高宏
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：显微镜 光学轮廓仪 力传感器 原子力显微镜 表面粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严普强
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：传感器 桥梁 振动测量 振动 低频振动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王云庆
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：弹性支承 模糊控制 工作台 测量力 轮廓仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
白立芬
供职机构：清华大学
研究主题：柔性铰链 动物纤维 图像处理 细度测量 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周兆英
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：微型飞行器 MEMS 微机电系统 微型机械 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘永生
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：力传感器 原子力显微镜 AFM 显微镜 微机械加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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