2024年7月24日
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陈土泉
作品数:
7
被引量:15
H指数:2
供职机构:
中国科学院研究生院
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发文基金:
应用光学国家重点实验室开放基金
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相关领域:
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合作作者
马冬梅
中国科学院长春光学精密机械与物...
刘志祥
中国科学院长春光学精密机械与物...
聂真威
中国科学院长春光学精密机械与物...
张海涛
中国科学院长春光学精密机械与物...
金春水
中国科学院长春光学精密机械与物...
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马冬梅
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:干涉仪 面形误差 面形检测 点衍射干涉仪 面形
发表作品
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供职机构
所获资助
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刘志祥
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:波像差 投影物镜 光学系统 大数值孔径 像差
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聂真威
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学系统 光学成像系统 调制传递函数 衍射 狭缝
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供职机构
所获资助
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张海涛
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:干涉仪 点衍射干涉仪 光学元件 面形误差 面形检测
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金春水
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
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