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宁瑾
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74
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H指数:5
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
韩国威
中国科学院半导体研究所
赵永梅
中国科学院半导体研究所
司朝伟
清华大学信息科学技术学院电子工...
杨富华
中国科学院半导体研究所
孙国胜
中国科学院半导体研究所
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韩国威
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:锚点 电极 MEMS 压电层 掩膜
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赵永梅
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 3C-SIC 衬底 刻蚀 碳化硅材料
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司朝伟
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:锚点 电极 压电层 MEMS 谐振器
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杨富华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 电极 谐振器 纳米尺寸
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孙国胜
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 3C-SIC 衬底 4H-SIC SIC
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王雷
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 3C-SIC 衬底 SIC 4H-SIC
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赵万顺
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 3C-SIC 衬底 外延层 4H-SIC
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俞育德
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:芯片 反应池 硅基 肌肉 液滴
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刘兴昉
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 衬底 外延层 刻蚀 碳化硅材料
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曾一平
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:分子束外延 衬底 碳化硅 氮化镓 缓冲层
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