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宗明成

作品数：53 被引量：27H指数：4
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共 14 条 记 录，以下是 1-10
李世光
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 光刻 光刻机 工件台 极紫外
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄有为
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：污染物 标准气体 EUV 保护装置 靶材
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙裕文
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻机 污染物 硅片 EUV 保护装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏志国
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：工件台 标准气体 衍射 弹簧 保护装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武志鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 工件台 光刻机 积分饱和 抗积分饱和
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王丹
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻机 形貌 工件台 调整装置 数字化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐天伟
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：EUV 光刻机 污染物 电子学 次镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王宇
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：波导 极紫外 激光器 光子芯片 准分子激光器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马向红
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻机 EUV 次镜 传感器 标准气体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋泽宇
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：镜筒 对心 垂向 半导体制造 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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