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温万良

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：无锡微电子科研中心更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 2个电子电信

主题

  • 2个电路
  • 2个集成电路
  • 2个光刻
  • 2个光刻工艺
  • 2个半导体
  • 2个半导体工艺
  • 2个ARC
  • 1个电路原理
  • 1个特种气体
  • 1个气体
  • 1个离子
  • 1个离子源
  • 1个抗反射
  • 1个工艺线
  • 1个规程
  • 1个BICMOS
  • 1个纯度

机构

  • 2个无锡微电子科...

传媒

  • 2个中国电子学会...
  • 1个微电子技术
  • 1个电子与封装

地区

  • 2个江苏省
共 2 条 记 录，以下是 1-2
周林
供职机构：无锡微电子科研中心
研究主题：ARC 半导体工艺 光刻工艺 光刻 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆锋
供职机构：无锡微电子科研中心
研究主题：集成电路 纯度 半导体 规程 工艺线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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