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王永进
作品数:
15
被引量:7
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张峰
中国科学院上海微系统与信息技术...
林志浪
中国科学院上海微系统与信息技术...
程新利
中国科学院上海微系统与信息技术...
陈志君
中国科学院上海微系统与信息技术...
曹共柏
中国科学院上海微系统与信息技术...
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张峰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:注氧隔离 SOI 高温退火 波导 反应离子刻蚀
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所获资助
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林志浪
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:波导 反应离子刻蚀 原位合成 烧结助剂 制作方法
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程新利
供职机构:苏州科技大学
研究主题:非晶薄膜 极板 敏感元件 谐振电抗器 FE-ZR-B
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陈志君
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:掺ER 波导 ER 反应离子刻蚀 光致发光
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曹共柏
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:反应离子刻蚀 波导 各向异性腐蚀 绝缘埋层 离子注入
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肖海波
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:掺ER AL ER 富硅氧化硅 光致发光
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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邹世昌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 离子束 硅 SOI 巨磁电阻
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所获资助
研究领域
张昌盛
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:掺ER ER 富硅氧化硅 光致发光 离子注入
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所获资助
研究领域
陈静
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:晶体管 浮体效应 SOI 阈值电压 存储器单元
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