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吴宇峰

作品数：5 被引量：14H指数：2
供职机构：东北大学机械工程与自动化学院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>

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地区

  • 2个辽宁省
  • 1个广东省
共 3 条 记 录，以下是 1-3
巴德纯
供职机构：东北大学机械工程与自动化学院
研究主题：磁控溅射 真空 故障诊断 干泵 抽气
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张以忱
供职机构：东北大学
研究主题：真空 真空系统 真空技术 磁控溅射 非平衡磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
耿漫
供职机构：深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心
研究主题：离子注入 表面改性 等离子体源 等离子体 PSII
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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