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李季

作品数：4 被引量：8H指数：2
供职机构：浙江大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信环境科学与工程建筑科学更多>>

合作作者

领域

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地区

  • 3个浙江省
共 3 条 记 录，以下是 1-3
沈珊瑚
供职机构：浙江大学电气工程学院
研究主题：超深亚微米 特征函数 分辨率增强技术 分辨率 光刻模拟
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈晔
供职机构：浙江大学
研究主题：分辨率增强技术 光刻 硅表面 中外合作办学 光刻模拟
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
史峥
供职机构：浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所
研究主题：光学邻近校正 集成电路 光刻 成品率 版图
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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