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汤益丹
作品数:
121
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
化学工程
自动化与计算机技术
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合作作者
白云
中国科学院微电子研究所
刘新宇
中国科学院微电子研究所
杨成樾
中国科学院微电子研究所
田晓丽
中国科学院微电子研究所
陈宏
中国科学院微电子研究所
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白云
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 SIC 衬底 微波等离子体 肖特基二极管
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刘新宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化镓 刻蚀 欧姆接触 ALGAN/GAN 衬底
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杨成樾
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 衬底 微波等离子体 肖特基二极管 肖特基接触
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田晓丽
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 IGBT器件 绝缘栅双极晶体管 衬底 场限环
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陈宏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 SIC 衬底 沟槽 源极
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研究领域
申华军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:欧姆接触 碳化硅 刻蚀 INGAP/GAAS_HBT 肖特基二极管
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王盛凯
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微波等离子体 衬底 含氧气体 沟道 键合
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周静涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:肖特基二极管 硅基 太赫兹 垂直腔面发射激光器 刻蚀
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刘焕明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SUB 硅基 钝化层 离子注入工艺 肖特基二极管
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李博
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SRAM 二次谐波 背栅 反相器 绝缘体上硅
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