您的位置: 专家智库 > >

领域

  • 10个电子电信
  • 8个一般工业技术
  • 8个理学
  • 7个金属学及工艺
  • 7个自动化与计算...
  • 5个化学工程
  • 5个医药卫生
  • 4个电气工程
  • 2个经济管理
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个文化科学
  • 1个生物学
  • 1个机械工程
  • 1个交通运输工程
  • 1个环境科学与工...
  • 1个社会学
  • 1个政治法律
  • 1个语言文字

主题

  • 9个退火
  • 9个注氧隔离
  • 8个电路
  • 8个注氧隔离技术
  • 8个埋层
  • 6个总剂量
  • 5个氮化
  • 5个等离子体
  • 5个低能
  • 5个电学
  • 4个单片
  • 4个氮化物
  • 4个低剂量
  • 3个单晶
  • 3个单晶硅
  • 3个单粒子
  • 3个单粒子翻转
  • 3个单粒子效应
  • 3个单片集成
  • 3个氮化镓

机构

  • 10个中国科学院
  • 4个中国科学院上...
  • 2个清华大学
  • 1个电子科技大学
  • 1个西南交通大学
  • 1个上海交通大学
  • 1个苏州大学
  • 1个中国科学院研...
  • 1个中科院上海微...
  • 1个中国科学院兰...
  • 1个上海新傲科技...

资助

  • 8个国家重点基础...
  • 8个国家自然科学...
  • 8个国家杰出青年...
  • 4个国家高技术研...
  • 4个上海市科学技...
  • 2个国家科技重大...
  • 2个高功率半导体...
  • 2个上海市科学技...
  • 1个德国洪堡基金
  • 1个国防科技技术...
  • 1个上海市科委纳...
  • 1个上海市青年科...
  • 1个上海市自然科...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个中央级公益性...
  • 1个广东省教育部...
  • 1个广东省重大科...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个国家重点实验...
  • 1个江苏省教委自...

传媒

  • 10个功能材料与器...
  • 8个Journa...
  • 5个物理学报
  • 5个功能材料
  • 4个科学通报
  • 4个核技术
  • 4个第十一届全国...
  • 3个半导体技术
  • 3个材料导报
  • 3个中国科学(E...
  • 3个固体电子学研...
  • 3个科技通讯(上...
  • 3个第六届中国功...
  • 2个清华大学学报...
  • 2个兰州大学学报...
  • 2个发光学报
  • 2个材料研究学报
  • 2个科技开发动态
  • 2个光散射学报
  • 2个液晶与显示

地区

  • 8个上海市
  • 1个北京市
  • 1个四川省
10 条 记 录,以下是 1-10
王曦
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈静
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:晶体管 浮体效应 SOI 阈值电压 存储器单元
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈猛
供职机构:清华大学
研究主题:SOI 注氧隔离 高温退火 低剂量 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董业民
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI工艺 注氧隔离 场效应晶体管 抗辐射 绝缘体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林梓鑫
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 低剂量 硅 SIMOX
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
易万兵
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI SIMOX 氧 氮 注氧隔离
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金波
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 注氧隔离 SIMON 氧 高温退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张继华
供职机构:电子科技大学
研究主题:射频磁控溅射 BST 铁电薄膜 介电性能 基片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘相华
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 离子注入 MOS器件 氧离子 EFFECTS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑志宏
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束辅助沉积 铪 离子注入 离子束增强沉积 性能研究
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
聚类工具0