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郑乐行
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7
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供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
黄惠杰
中国科学院上海光学精密机械研究...
曾爱军
中国科学院上海光学精密机械研究...
刘龙海
中国科学院上海光学精密机械研究...
朱玲琳
中国科学院上海光学精密机械研究...
袁乔
中国科学院上海光学精密机械研究...
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曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:起偏器 光刻机 移相 测量方法 偏振
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 照明系统 光刻 测量方法
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刘龙海
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:起偏器 测量方法 计算机组成 锁相放大器 波片
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朱玲琳
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:起偏器 波片 计算机组成 方位角 测量方法
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袁乔
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:测量方法 面形 锥角 干涉仪 起偏器
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陈贝石
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:测量方法 方位角 线性双折射 起偏器 同时测量
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王健
供职机构:中国科学院
研究主题:光学系统设计 光学设计 光学系统 衍射 长波红外
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