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曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:起偏器 光刻机 移相 测量方法 偏振
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 照明系统 光刻 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘龙海
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:起偏器 测量方法 计算机组成 锁相放大器 波片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱玲琳
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:起偏器 波片 计算机组成 方位角 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁乔
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:测量方法 面形 锥角 干涉仪 起偏器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈贝石
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:测量方法 方位角 线性双折射 起偏器 同时测量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王健
供职机构:中国科学院
研究主题:光学系统设计 光学设计 光学系统 衍射 长波红外
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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