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陈旺富

作品数：27 被引量：43H指数：4
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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领域

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胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周绍林
供职机构：华南理工大学
研究主题：纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
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杨勇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐锋
供职机构：西南科技大学信息工程学院
研究主题：条纹 纳米光刻 图像探测器 光刻 投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐小萍
供职机构：西藏自治区气候中心
研究主题：生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋文波
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：成像系统 位相型 光刻 纳米光刻 无掩模光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李金龙
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 掩模 节流孔 六自由度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢飞
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：图像探测器 条纹 SIMULINK 衍射 分光镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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