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谢琦

作品数：13 被引量：7H指数：2
供职机构：复旦大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信化学工程政治法律更多>>

合作作者

领域

  • 12个电子电信
  • 9个理学
  • 7个自动化与计算...
  • 6个化学工程
  • 6个机械工程
  • 6个电气工程
  • 5个一般工业技术
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  • 4个文化科学
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  • 2个天文地球
  • 2个金属学及工艺
  • 2个医药卫生
  • 1个经济管理
  • 1个矿业工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个交通运输工程
  • 1个农业科学
  • 1个政治法律

主题

  • 12个互连
  • 11个阻挡层
  • 11个扩散阻挡层
  • 10个铜互连
  • 10个TAN
  • 9个微电子
  • 8个退火
  • 8个迁移率
  • 8个籽晶
  • 8个钌
  • 8个RU
  • 7个电场
  • 7个电路
  • 6个单层膜
  • 6个电镀
  • 6个电学
  • 6个电学特性
  • 6个电阻
  • 5个导纳
  • 5个氧化钒

机构

  • 15个复旦大学
  • 3个中国科学院
  • 2个上海大学
  • 1个北京理工大学
  • 1个同济大学
  • 1个中国石油化工...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国科学院上...

资助

  • 11个国家自然科学...
  • 8个国家教育部博...
  • 7个上海市自然科...
  • 7个上海市科学技...
  • 4个“上海－应用...
  • 3个高等学校骨干...
  • 3个国家重点基础...
  • 3个教育部留学回...
  • 3个上海市青年科...
  • 3个国家攀登计划
  • 3个上海市教育发...
  • 3个天津市高等学...
  • 3个上海市教委科...
  • 2个教育部科学技...
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  • 2个国家科技重大...
  • 2个高等学校特色...
  • 2个教育部“新世...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个中国科学院科...

传媒

  • 8个Journa...
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  • 6个第十五届全国...
  • 5个半导体技术
  • 5个第十三届全国...
  • 5个第十四届全国...
  • 4个高等学校化学...
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  • 3个应用化学
  • 3个物理化学学报
  • 3个Chines...
  • 3个功能材料与器...
  • 3个石油化工
  • 3个第十二届全国...

地区

  • 15个上海市
共 15 条 记 录，以下是 1-10
屈新萍
供职机构：复旦大学
研究主题：微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 硅化物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
茹国平
供职机构：复旦大学微电子研究院
研究主题：固相反应 微电子 NISI 硅化物 SI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李炳宗
供职机构：复旦大学
研究主题：固相反应 硅化物 自对准 NISI 微电子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋玉龙
供职机构：复旦大学
研究主题：微电子 金属栅 势垒 NISI 肖特基接触
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭晶晶
供职机构：复旦大学
研究主题：扩散阻挡层 铜互连 钌 TAN 籽晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张卫
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵莹
供职机构：复旦大学
研究主题：扩散阻挡层 铜 财政预算管理 财务管理体制 高校体制改革
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
乐英红
供职机构：复旦大学
研究主题：催化剂 丙烷 脱氢 沸石 SUB
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于浩
供职机构：复旦大学
研究主题：金属 存储器 微电子 锗 测量信号
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高滋
供职机构：复旦大学
研究主题：催化剂 沸石 ZRO SO 分子筛
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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