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谷德君

作品数：52 被引量：12H指数：2
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合作作者

领域

  • 4个电子电信
  • 4个文化科学
  • 3个自动化与计算...
  • 2个医药卫生
  • 1个化学工程
  • 1个金属学及工艺
  • 1个机械工程
  • 1个电气工程
  • 1个社会学

主题

  • 5个喷嘴
  • 5个晶片
  • 5个晶圆
  • 5个夹持
  • 4个湿法
  • 4个涂胶
  • 3个单片
  • 3个电路
  • 3个电路制造
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  • 3个旋转轴
  • 3个圆片
  • 3个湿法处理
  • 3个酸雾
  • 3个转轴
  • 3个微电子
  • 3个交叉污染
  • 2个单片机
  • 2个电动执行
  • 2个电动执行器

机构

  • 8个沈阳芯源微电...
  • 1个哈尔滨工业大...
  • 1个沈阳理工大学

资助

  • 4个国家科技重大...
  • 1个国家自然科学...
  • 1个国际科技合作...
  • 1个黑龙江省高等...
  • 1个教育部人文社...

传媒

  • 3个机械工程师
  • 2个半导体技术
  • 2个电子工业专用...
  • 1个控制与决策
  • 1个黑龙江高教研...
  • 1个自动化技术与...
  • 1个探测与控制学...
  • 1个装备制造技术

地区

  • 8个辽宁省
共 8 条 记 录，以下是 1-8
卢继奎
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：晶片 半导体行业 湿法处理 承片台 供液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王一
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：湿法处理 半导体行业 晶圆 晶片 承片台
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陈波
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：硅片 保护装置 薄片状 旋转轴 旋转盘
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陈焱
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：掩膜板 硅片 平板显示器 光刻胶 薄片状
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汪涛
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体行业 晶圆 湿法处理 承片台 半导体
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王永斌
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：薄片状 硅片 交叉污染 微电子 酸雾
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宗润福
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研究主题：显影 工艺过程 集成电路制造 基片 立式
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尹宁
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体行业 晶圆 晶片 风流 污染
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