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李世光

作品数：24 被引量：49H指数：4
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共 12 条 记 录，以下是 1-10
宗明成
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：对焦 光刻机 工件台 硅片 镜筒
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙裕文
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻机 污染物 硅片 EUV 保护装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武志鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 工件台 光刻机 积分饱和 抗积分饱和
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏志国
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：工件台 标准气体 衍射 弹簧 保护装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄有为
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：污染物 标准气体 EUV 保护装置 靶材
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王丹
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻机 形貌 工件台 调整装置 数字化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋泽宇
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：镜筒 对心 垂向 半导体制造 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
盖洪峰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：高能 发生器 极紫外 紫外光 能量转换效率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈浩
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：高能 发生器 极紫外 紫外光 能量转换效率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马向红
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻机 EUV 次镜 传感器 标准气体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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