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董晓文
作品数:
16
被引量:14
H指数:2
供职机构:
中国科学院电工研究所
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
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合作作者
司卫华
清华大学
顾文琪
中国科学院研究生院
刘泽文
清华大学
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司卫华
供职机构:清华大学
研究主题:纳米压印 模版 紫外 热压印 反应离子刻蚀
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供职机构
所获资助
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顾文琪
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 聚焦离子束 液态金属离子源 电子束曝光 图形发生器
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
刘泽文
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 微机械 射频 纳米孔 共面波导
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