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高飞

作品数：11 被引量：16H指数：3
供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所更多>>
发文基金：中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
相关领域：电子电信理学化学工程更多>>

合作作者

领域

  • 11个电子电信
  • 6个化学工程
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  • 1个自动化与计算...
  • 1个医药卫生

主题

  • 9个抛光
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  • 8个机械抛光
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机构

  • 11个中国电子科技...
  • 1个天津大学
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资助

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  • 3个天津市自然科...
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地区

  • 11个天津市
共 11 条 记 录，以下是 1-10
李晖
供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP 表面粗糙度 碳化硅 晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程红娟
供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题：单晶 晶体 HVPE 氮化镓 DAST
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐永宽
供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题：HVPE GAN 氮化镓 氢化物气相外延 DAST
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐世海
供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 晶片 GASB CMP工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张弛
供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题：吸盘 转速 切入 倒角 表面粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王磊
供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题：SIC 粗糙度 表面粗糙度 CMP SI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张淑娟
供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题：4H-SIC SIC 化学机械抛光 表面粗糙度 CMP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
洪颖
供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题：SIC 碳化硅 籽晶 半绝缘 4H-SIC
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王健
供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题：导模法 CMP CDSE 非线性光学晶体 性能研究
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢伟涛
供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题：GASB XPS 钝化工艺 硫钝化 抛光表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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