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汤雅权

作品数:9 被引量:5H指数:1
供职机构:北京大学更多>>
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领域

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机构

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地区

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于晓梅
供职机构:北京大学
研究主题:红外焦平面阵列 悬臂梁 单片集成 平面阵列 微悬臂梁传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马盛林
供职机构:北京大学
研究主题:键合 通孔 互连结构 制作方法 TSV
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘毅
供职机构:南开大学
研究主题:皇陵 陵墓 明代 电极 陶瓷
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
易玉良
供职机构:北京大学
研究主题:电极 感应耦合等离子体 硅片 刻蚀 多晶硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王兆江
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 高深宽比 感应耦合等离子体 锚点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张海涛
供职机构:北京大学
研究主题:单片集成 MEMS SOI 悬臂梁 集成化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王颖
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 梁结构 访谈录 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王玮
供职机构:北京大学
研究主题:单晶金刚石 金刚石 场效应晶体管 硅基 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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