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郭晓龙
作品数:
13
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
景玉鹏
中国科学院微电子研究所
徐昕伟
中国科学院微电子研究所
于明岩
哈尔滨理工大学测控技术与通信工...
张庆钊
中国科学院微电子研究所
卢维尔
中国科学院微电子研究所
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景玉鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅片 气敏传感器 光刻胶 刻蚀 临界态
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徐昕伟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微波 干燥装置 硅片 微细结构 倒伏
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张庆钊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:启辉 原子层沉积 等离子体 刻蚀工艺 电极
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于明岩
供职机构:哈尔滨理工大学
研究主题:气体传感器 微波 干燥装置 硅片 微细结构
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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卢维尔
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
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张永奎
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 电子设备 沟道 堆叠
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李琳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:超浅结 靶材 暗电流 分子 修饰
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朱慧珑
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 堆叠 衬底 电子设备
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王磊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:二次谐波 临界态 光刻胶 硅片 厚层
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