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周顺

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7 条 记 录,以下是 1-7
路新春
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何永勇
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
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许振杰
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 修整器 机械手 抛光液 组件
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沈攀
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 修整器 化学机械抛光 机械手 修整
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赵建伟
供职机构:清华大学
研究主题:机器人 化学机械抛光 伺服驱动器 运动控制器 角度域
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李冉
供职机构:清华大学
研究主题:病理图像 器官组织 传热特性 传热 超超临界锅炉
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徐海滨
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 干燥装置 机械手 组件 装载装置
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