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李晖
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12
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H指数:3
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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合作作者
高飞
中国电子科技集团公司第四十六研...
程红娟
中国电子科技集团公司第四十六研...
徐永宽
中国电子科技集团公司第四十六研...
徐世海
中国电子科技集团公司第四十六研...
史月增
中国电子科技集团公司第四十六研...
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高飞
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP 表面粗糙度 4H-SIC SIC
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程红娟
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:单晶 晶体 HVPE 氮化镓 DAST
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徐永宽
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:HVPE GAN 氮化镓 氢化物气相外延 DAST
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徐世海
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 晶片 GASB CMP工艺
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史月增
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:PVT ALN 籽晶 单晶 X射线双晶衍射
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杨丹丹
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:氮化镓 氢化物气相外延 HVPE 载气 X射线双晶衍射
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王磊
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:SIC 粗糙度 表面粗糙度 CMP SI
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徐所成
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:X射线双晶衍射 氮化镓 厚层 氢化物 气相外延
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张嵩
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:HVPE GAN 氢化物气相外延 氮化镓 GAAS衬底
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张弛
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:吸盘 转速 切入 倒角 表面粗糙度
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