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欧毅

作品数：139 被引量：99H指数：5
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陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 MEMS 沟道 焦平面阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
景玉鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 气敏传感器 光刻胶 刻蚀 临界态
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦斌斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：平面阵列 非制冷红外成像 焦平面阵列 芯片 红外成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
石莎莉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 控制部件 氮化硅薄膜 牺牲层 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
欧文
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：悬臂梁 刻蚀 衬底 红外吸收 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李志刚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属 冗余 淀积 集成电路版图 版图设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
崔芳
供职机构：北京理工大学
研究主题：石英音叉 声光可调谐滤波器 石英音叉陀螺 陀螺 有限元法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙雨南
供职机构：北京理工大学
研究主题：石英音叉 石英音叉陀螺 声光可调谐滤波器 陀螺 集成光学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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