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苏平
作品数:
8
被引量:32
H指数:3
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点实验室开放基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
冯伯儒
中国科学院光电技术研究所
张锦
中国科学院光电技术研究所
蒋世磊
中国科学院光电技术研究所
宗德蓉
中国科学院光电技术研究所
侯德胜
中国科学院光电技术研究所
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冯伯儒
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 相移掩模 光刻系统 干涉光刻 掩模
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张锦
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光刻系统 干涉光刻 光刻 光刻技术 激光干涉
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宗德蓉
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:声光调制器 光刻系统 干涉光刻 声光器件 超声频率
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蒋世磊
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光学设计 光学系统 干涉光刻 光阑 光学镜头
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侯德胜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:相移掩模 光刻 激光直写 光刻掩模 衰减相移掩模
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陈宝钦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
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陈芬
供职机构:宁波大学信息科学与工程学院
研究主题:立体视频 视点 图像 立体图像 结构相似度
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候德胜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:微透镜列阵 RF_MEMS开关 微机电系统 微波开关 大屏幕显示器
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刘娟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:掩模 高速通信 光刻技术 光刻系统 微电子机械系统
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周崇喜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束整形 半导体激光器 微透镜阵列 透镜 光纤耦合
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