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莘海维
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上海交通大学微电子学院微电子技术研究所
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发文基金:
山西省青年科技研究基金
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相关领域:
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自动化与计算机技术
金属学及工艺
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合作作者
张志明
上海交通大学微电子学院微电子技...
沈荷生
上海交通大学微电子学院微电子技...
戴永兵
上海交通大学微电子学院微电子技...
凌行
上海交通大学微电子学院微电子技...
田林海
太原理工大学材料科学与工程学院...
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张志明
供职机构:上海交通大学
研究主题:金刚石薄膜 金刚石 金刚石涂层 CVD 刀具
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沈荷生
供职机构:上海交通大学
研究主题:金刚石薄膜 金刚石 CVD SNO 附着力
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戴永兵
供职机构:上海交通大学
研究主题:金刚石 合金 分子动力学 金刚石薄膜 精铝
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凌行
供职机构:上海交通大学
研究主题:金刚石薄膜 介电性能 高灵敏度 可变电容 微加工
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田林海
供职机构:太原理工大学材料科学与工程学院
研究主题:微弧氧化 钛合金 磁控溅射 钛合金表面 金属
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潘俊德
供职机构:青岛滨海学院
研究主题:钛合金 钛合金表面 辉光放电 金属 弧光放电
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奚正蕾
供职机构:上海交通大学
研究主题:金刚石薄膜 介电性能 刻蚀 图形化 纳米金刚石薄膜
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万永中
供职机构:上海交通大学
研究主题:金刚石 相图 金刚石薄膜 低压 CVD
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孙方宏
供职机构:上海交通大学机械与动力工程学院
研究主题:金刚石薄膜 金刚石涂层 金刚石 热丝化学气相沉积 硬质合金
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贺琦
供职机构:北京科技大学
研究主题:红外透过率 ALN薄膜 金刚石薄膜 工艺参数 Y
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