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路海林

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：东北微电子研究所更多>>
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领域

  • 5个电子电信
  • 2个电气工程
  • 2个自动化与计算...

主题

  • 5个电路
  • 5个集成电路
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机构

  • 5个东北微电子研...
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  • 1个中国电子科技...
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传媒

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  • 1个第11届全国...
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地区

  • 1个江苏省
  • 1个北京市
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王嵩宇
供职机构：中国电子科技集团公司
研究主题：SEM 集成电路 扫描电子显微镜 解理 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王冬梅
供职机构：东北微电子研究所
研究主题：超大规模集成电路 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁凯
供职机构：东北微电子研究所
研究主题：扫描电子显微镜 集成电路 微机 SEM 乘法器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭长厚
供职机构：东北微电子研究所
研究主题：SEM 集成电路 绝缘介质 扫描电子显微镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈东石
供职机构：中国电子科技集团
研究主题：超大规模集成电路 PE 光刻胶 光刻机 N-
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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