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陈可炜
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4
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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电子电信
理学
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合作作者
俞跃辉
中国科学院上海微系统与信息技术...
邢玉梅
中国科学院上海微系统与信息技术...
郑志宏
中国科学院上海微系统与信息技术...
杨文伟
中国科学院上海微系统与信息技术...
张峰
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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俞跃辉
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 离子注入 石墨烯 功率器件 金属
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杨文伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:功率器件 击穿电压 SOI材料 LDMOS SOI_LDMOS
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宋朝瑞
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI材料 SOI 介质薄膜 SOI_LDMOS 高介电常数
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王湘
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI结构 SOI材料 SIMOX圆片 离子注入机 低剂量
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邢玉梅
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:碳化硅 高温 氧化铪 SOI材料 铪
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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李文钧
供职机构:杭州电子科技大学
研究主题:鼾声 毫米波 物联网 电极 振动
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李炜
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:场发射显示器 金刚石薄膜 非晶金刚石薄膜 类金刚石薄膜 光致发光
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郑志宏
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束辅助沉积 铪 离子注入 离子束增强沉积 性能研究
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陈静
供职机构:苏州大学机电工程学院
研究主题:SIMOX圆片 低剂量 球磨 锗 SOI
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