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任侠
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5
被引量:2
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供职机构:
中国科学院电工研究所
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化学工程
金属学及工艺
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合作作者
吴振华
中国科学院电工研究所
游本章
中国科学院电工研究所
黄经筒
中国科学院电工研究所
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吴振华
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:真空电弧 电弧 物理气相沉积 横向磁场 沉积速率
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游本章
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:离子镀膜 真空电弧 沉积速率 电弧 氮化钛
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黄经筒
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:真空电弧 沉积速率 离子镀膜 电弧 掩模
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