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季安
作品数:
39
被引量:27
H指数:2
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
天津市应用基础与前沿技术研究计划
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相关领域:
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机械工程
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合作作者
杨富华
中国科学院半导体研究所
王晓东
中国科学院半导体研究所
张明亮
中国科学院半导体研究所
张加勇
中国科学院半导体研究所
付英春
中国科学院半导体研究所
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杨富华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 电极 纳米尺寸 相变材料
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王晓东
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 纳米尺寸 相变材料 微装配
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张明亮
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 热电器件 MEMS压力传感器 纳米线结构 谐振式
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张加勇
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:纳米尺寸 相变存储器 淀积 干法刻蚀 相变材料
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付英春
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:相变存储器 自对准 相变材料 干法刻蚀 淀积
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黄亚军
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:氮化镓 掩膜 湿法腐蚀 电流分布 氮化镓发光二极管
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樊中朝
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:刻蚀 SOI 干法刻蚀 碳化硅 多模干涉耦合器
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马慧莉
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:相变存储器 相变材料 淀积 纳米尺寸 抛光表面
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白云霞
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:干法刻蚀 自对准 电子束曝光 可调谐光滤波器 可调谐滤波器
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赵永梅
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 3C-SIC 衬底 刻蚀 碳化硅材料
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