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林志浪
作品数:
23
被引量:15
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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冶金工程
理学
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合作作者
张峰
中国科学院上海微系统与信息技术...
程新利
中国科学院上海微系统与信息技术...
王永进
中国科学院上海微系统与信息技术...
周美玲
北京工业大学材料科学与工程学院
王群
北京工业大学材料科学与工程学院
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张峰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:注氧隔离 SOI 高温退火 波导 反应离子刻蚀
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所获资助
研究领域
王永进
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:波导 反应离子刻蚀 制作方法 掺ER 沉积速率
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程新利
供职机构:苏州科技大学
研究主题:非晶薄膜 极板 敏感元件 谐振电抗器 FE-ZR-B
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研究领域
周美玲
供职机构:北京工业大学
研究主题:阴极材料 钼 稀土 阴极 MO
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王群
供职机构:北京工业大学
研究主题:屏蔽效能 电磁 电磁屏蔽 磁导率 铝粉
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研究领域
曹共柏
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:反应离子刻蚀 波导 各向异性腐蚀 绝缘埋层 离子注入
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研究领域
肖海波
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:掺ER AL ER 富硅氧化硅 光致发光
发表作品
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研究领域
陈志君
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:掺ER 波导 ER 反应离子刻蚀 光致发光
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郑新和
供职机构:北京科技大学
研究主题:太阳能电池 GAN 有源 导电类型 氮化镓
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邹世昌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 离子束 硅 SOI 巨磁电阻
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