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耿臻

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：浙江大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 3个自动化与计算...
  • 2个电子电信
  • 1个电气工程
  • 1个自然科学总论

主题

  • 3个多边形
  • 3个切分
  • 3个光刻
  • 3个光刻仿真
  • 3个光刻系统
  • 3个光学邻近效应
  • 3个感器
  • 3个传感
  • 3个传感器
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机构

  • 3个浙江大学
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资助

  • 3个国家自然科学...
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  • 1个国家科技重大...
  • 1个浙江省科技计...
  • 1个中央高校基本...

传媒

  • 3个传感器与微系...
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  • 1个电测与仪表
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  • 1个电路与系统学...
  • 1个电子器件
  • 1个微电子学
  • 1个半导体光电
  • 1个计算机科学
  • 1个江南大学学报...
  • 1个浙江大学学报...

地区

  • 3个浙江省
共 3 条 记 录，以下是 1-3
罗凯升
供职机构：浙江大学
研究主题：光学邻近校正 成品率 层次化结构 层次管理 参数初始化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吕楠
供职机构：浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所
研究主题：传感器 光学邻近效应 光刻系统 光刻仿真 多边形
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
史峥
供职机构：浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所
研究主题：光学邻近校正 光刻 集成电路 成品率 版图
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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