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唐桢安
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供职机构:
大连理工大学
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国家自然科学基金
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电子电信
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合作作者
鲍海飞
中国科学院上海微系统与信息技术...
李新
沈阳工业大学
徐军
大连理工大学
徐军
大连理工大学
吴静
大连理工大学
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李新
供职机构:沈阳仪表科学研究院有限公司
研究主题:压力传感器 集成化 压力敏感芯片 微全分析系统 SOI
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鲍海飞
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:原子力显微镜 加速度计 高量程加速度传感器 量程 微机电系统
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徐军
供职机构:教育部
研究主题:磁控溅射 类金刚石膜 非平衡磁控溅射 类金刚石薄膜 类金刚石
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所获资助
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徐军
供职机构:大连理工大学
研究主题:等离子体诊断 吸附剂 混凝技术 铁 电子温度
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吴静
供职机构:大连理工大学
研究主题:尘埃等离子体 等离子体鞘层 数值模拟 硅压力传感器 尘埃云
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