2024年8月28日
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张海燕
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
叶超
苏州大学物理科学与技术学院能源...
俞笑竹
上海交通大学理学院物理系
宁兆元
苏州大学物理科学与技术学院能源...
杜杰
苏州大学物理科学与技术学院能源...
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杜杰
供职机构:苏州大学
研究主题:COH 物性 抑制剂 超大规模集成电路 蛋白结构
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叶超
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)
研究主题:氟化非晶碳薄膜 低介电常数 F 等离子体 介电
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宁兆元
供职机构:苏州大学
研究主题:等离子体 氟化非晶碳薄膜 ECR 感应耦合等离子体 光学带隙
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
俞笑竹
供职机构:上海交通大学
研究主题:性能研究 低介电常数 介电性能 SI OH
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相关人物
供职机构
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