2025年2月21日
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段永利
作品数:
7
被引量:5
H指数:1
供职机构:
东北大学机械工程与自动化学院
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
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合作作者
巴德纯
东北大学机械工程与自动化学院
范垂祯
深圳豪威真空光电子股份有限公司...
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巴德纯
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:磁控溅射 真空 故障诊断 抽气 干泵
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范垂祯
供职机构:中国科学院兰州物理研究所
研究主题:砷化镓 SIMS 二次离子质谱 AES 金属
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