2025年1月10日
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王莎莎
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天津理工大学
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合作作者
张楷亮
天津理工大学电子信息工程学院天...
王芳
天津理工大学电子信息工程学院天...
孙大智
天津理工大学电子信息工程学院天...
曲长庆
天津理工大学
张涛峰
天津理工大学
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张楷亮
供职机构:天津理工大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 存储器 叠层结构 抛光速率
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王芳
供职机构:天津大学
研究主题:存储器 叠层结构 化学机械抛光 氧化钒薄膜 金刚石薄膜
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曲长庆
供职机构:天津理工大学
研究主题:金刚石薄膜 金刚石 金刚石膜 金刚石膜电极 电化学
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孙大智
供职机构:天津理工大学
研究主题:金刚石膜 纳米金刚石薄膜 金刚石 金刚石薄膜 纳米
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张涛峰
供职机构:天津理工大学
研究主题:抛光液 抛光速率 集成电路工艺 化学机械平坦化 金刚石薄膜
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任君
供职机构:天津理工大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 抛光速率 氧化铪 硅衬底
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吴小国
供职机构:天津理工大学
研究主题:金刚石 金刚石薄膜 金刚石膜 薄膜厚度 多层膜结构
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苗银萍
供职机构:天津理工大学
研究主题:光纤 单模光纤 倾斜光纤光栅 光谱分析仪 光子晶体光纤
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袁育杰
供职机构:天津理工大学
研究主题:太阳电池 单模光纤 微晶硅 光纤 化学机械抛光
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吴晓国
供职机构:天津理工大学
研究主题:金刚石膜 金刚石 SAW器件 纳米 ZNO
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