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解婧
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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文化科学
电子电信
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合作作者
杨晋玲
中国科学院半导体研究所
杨富华
中国科学院半导体研究所
刘云飞
中国科学院半导体研究所
李艳
中国科学院半导体研究所
唐龙娟
中国科学院半导体研究所
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杨富华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 电极 谐振器 纳米尺寸
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杨晋玲
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:谐振器 圆片级 电极 谐振结构 淀积
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刘云飞
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:MEMS器件 光刻胶 电化学腐蚀 原电池 超高真空
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李艳
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:掩膜 干法刻蚀 光刻胶 淀积 镍
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供职机构
所获资助
研究领域
唐龙娟
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:淀积 台面刻蚀 纳米阵列 太阳能电池 氮化物
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