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张友宝
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28
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H指数:2
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中国科学院上海光学精密机械研究所
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合作作者
黄惠杰
中国科学院上海光学精密机械研究...
黄立华
中国科学院研究生院
谢承科
中国科学院研究生院
马兴华
中国科学院上海光学精密机械研究...
任冰强
中国科学院研究生院
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 照明系统 光刻 测量方法
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黄立华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:免疫层析 上转换发光 光刻机 试纸条 金标
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谢承科
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 生物免疫 光学系统 免疫层析
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马兴华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:狭缝 测试系统 步进 大行程 边界面
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孙征宇
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:大气气溶胶 步进 大行程 循环检测 多自由度
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屈建峰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:试纸条 生物免疫 上转换发光 安全数码卡 多通道
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任冰强
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 光束 照明系统 光阑 焦斑
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郭小娴
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:同步移相 移相 移相器 衍射 安全数码卡
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胡小邦
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 镜面 调整架 测量方法 光源
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曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:起偏器 光刻机 移相 测量方法 偏振
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